Mae tymheredd a lleithder y gwaith adeiladu labordy yn cael eu pennu yn bennaf yn unol â gofynion y broses, ond dylid ystyried y lefel cysur dynol wrth fodloni gofynion y broses. Gyda gwella'r gofynion glanweithdra aer, bu galw cynyddol caeth am dymheredd a lleithder y broses. Bydd y gofynion proses penodol ar gyfer tymheredd yn cael eu rhestru yn nes ymlaen, ond fel egwyddor gyffredinol, oherwydd y cywirdeb prosesu cynyddol fwyfwy, mae'r gofynion ar gyfer yr amrediad tymheredd yn amrywio yn llai ac yn llai.
Er enghraifft, yn y broses amlygiad lithograffeg o gynhyrchu cylched integredig ar raddfa fawr, mae'n ofynnol i'r gwahaniaeth mewn cyfernod ehangu thermol rhwng y gwydr a'r wafer silicon fel deunydd mwgwd fod yn llai ac yn llai. Wafer silicon 100 diamedr, y cynnydd tymheredd o 1 gradd, achosodd ehangiad llinellol o 0.24wm, rhaid iddo fod â thymheredd cyson o ± 0.1 gradd, tra bod y gwerth lleithder gofynnol yn is yn gyffredinol, oherwydd bod pobl yn chwysu, bydd y cynnyrch yn llygredig, yn enwedig Yn ofni gweithdy lled-ddargludyddion sodiwm, ni ddylai tymheredd y gweithdy hwn fod yn fwy na 25 gradd, a achosodd problem lleithder gormodol fwy o broblemau. Pan fo'r lleithder cymharol yn fwy na 55%, bydd y cyddwysedd yn ffurfio ar y wal bibell dŵr oeri. Os yw'n digwydd mewn dyfais neu gylched fanwl, bydd yn achosi damweiniau amrywiol.
Rheoliadau pwyso
Ar gyfer yr ystafelloedd mwyaf glân, mae angen cadw'r pwysau mewnol (pwysedd sefydlog) yn uwch na'r pwysedd allanol (pwysau sefydlog) er mwyn atal ymwthiad o halogiad allanol. Yn gyffredinol, dylai cynnal gwahaniaethau pwysau fodloni'r egwyddorion canlynol:
1. Mae pwysau gofod glân yn uwch na phwysau gofod nad yw'n lân.
2. Mae pwysedd y lefel glendid uchel yn uwch na phwysau'r lefel glanweithdra isel cyfagos.
Mae cynnal y gwahaniaeth pwysau yn dibynnu ar faint o aer ffres a all wneud iawn am yr aer sy'n gollwng o'r bwlch o dan y gwahaniaeth pwysau hwn. Felly ystyr ystyriol y gwahaniaeth pwysau yw'r gwrthiant i ollyngiadau (neu dreiddiad) pan fo'r cyfaint aer yn mynd trwy fylchau amrywiol yn yr ystafell lân.
Rheolau cyflymder awyr yn yr ystafell lân
Mae'r cyflymder llif awyr i'w drafod yma yn cyfeirio at y cyflymder llif awyr yn yr ystafell glanhau. Trafodir cyflymder llif awyr mewn ystafelloedd glan wrth drafod offer penodol.
Ar gyfer yr ystafell lân anhygoel Gan fod y prif ddibynnu'n bennaf ar wanhau'r aer i leihau'r llygredd dan do, defnyddir y cysyniad o nifer y newidiadau aer yn bennaf yn lle defnyddio'r cysyniad o gyflymder yn uniongyrchol, ond mae hefyd y canlynol gofynion ar gyfer y cyflymder aer dan do;
(1) Ni ddylai cyflymder yr awyr ar allfa'r allfa awyr fod yn rhy fawr. O'i gymharu ag ystafell syml â chyflyr awyru, mae'n golygu ei fod yn mynnu bod cyflymder cyflymach yn gyflymach a mwy o ongl ledaenu.
(2) Ni ddylai'r cyflymder llif aer (er enghraifft, y cyflymder ad-drefnu ar adegau bwydo'r ochr) sy'n cael ei chwythu dros yr awyren llorweddol fod yn rhy fawr, er mwyn peidio â chwythu'r gronynnau wyneb i ddychwelyd i'r llif aer a achosi ail-halogi. Yn gyffredinol, ni argymhellir bod y cyflymder hwn mor fawr â 0.2 m / s.
Ar gyfer yr ystafell lân llif-gyfochrog "y cyfeirir ato fel arfer fel yr ystafell laminar lân", mae cyflymder y groes-adran yn ddangosydd pwysig iawn oherwydd y ffaith bod y piston yn cael ei ddefnyddio'n bennaf ar gyfer llif aer i eithrio'r lliwio. Yn y gorffennol, cyfeiriwyd at safon 20gB yr Unol Daleithiau a defnyddiwyd 0.45. Ms. Ond mae pobl hefyd wedi dysgu bod faint o awyru sydd ei angen ar gyfer cyflymder mor fawr yn fawr iawn. Er mwyn arbed ynni, maent hefyd yn ceisio dichonoldeb lleihau cyflymder y gwynt.
Yn Tsieina, mae'r Mesurau Air Cleantech a'r Cod Dylunio Glanhau yn
Ystafell lân llif llif cyfochrog fertigol (llif laminar) ≥0.25m / s
Ystafell lân llif llif cyfochrog llorweddol (llif lamineidd) ≥ 0.35 m / s
Rheoli sŵn
Yn gyffredinol, mae safonau sŵn ar gyfer adeiladu labordy glân yn fwy llym na'r rhai ar gyfer diogelu iechyd. Y pwrpas yw sicrhau bod y gweithrediadau'n cael eu cynnal fel rheol a bod y cyswllt sgwrsio angenrheidiol a'r amgylchedd gwaith diogel a chyfforddus yn cael ei fodloni. Felly, prif ddangosydd sŵn mewn ystafell lân yw.
1. Effaith drafferth
Oherwydd sŵn, mae pobl yn teimlo'n anesmwyth ac yn cael trafferth emosiynau. Fe'u rhannir yn dawel iawn, yn dawel, yn dawel, yn ychydig swnllyd, yn gymharol swnllyd ac yn swnllyd iawn. Lle mae lefel yr ymateb yn swnllyd iawn ac yn hynod swnllyd, mae'n bryder uchel, ac mae canran y nifer uchel o drafferthion yn y cyfanswm yn gyfradd uchel o bryder.
2. Effaith ar effeithlonrwydd gwaith
Mae hyn yn bennaf yn dibynnu ar lefel yr ymateb yn y tri maes. Y tri agwedd hyn yw: canolbwyntio, cywirdeb gweithredu, a chyflymder gwaith;
3. Ymyrryd â chyfathrebu integredig